测试服务：SEM测试

品牌：日立（HITACHI） 型号：SU8010(SEM/EDX)

SEM测试原理：SEM是用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。现在SEM都与能谱(EDS)组合，可以进行成分分析。所以，SEM也是显微结构分析的主要仪器，已广泛用于材料、冶金、矿物、生物学等领域。

EDX测试机理：各种元素具有自己的X射线特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△E,能谱仪利用不同元素X射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析。

扫描电镜性能指标：

分辨率:1.0nm(15 kV);1.4nm(1 kV,WD=1.5mm，减速模式);2.0nm (1 kV,WD=1.5mm,普通模式)；

放大倍数：30倍-800,000倍；

电子枪：冷阴极场发射电子源；

加速电压：0.5-30kV(0.1KV/步，可变，普通模式)

样品台：X: 0-50mm Y:0-50mm.Z:1.5-30mm.T:-5-70°.R;360°

样品尺寸最大直径：100mm(标准)

信号选择：二次电子模式和背散射模式，X射线信号，辅助信号

元素检测范围：Be 4~Am 95；

SEM来样须知：

1、扫描电镜不能做磁性样品，样品中不得含有铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni);

2、样品不得具有磁性，并且不易被磁化;

3、样中不得含水分，如果是胶体溶液，可事先将液体滴在硅片或锡箔纸或载玻片上干燥后待测。

4、块状样品高度小于10mm，直径(或最大边长)小于25mm:

5、多孔类或易潮解的样品，请提前真空干燥处理;

6、生物样品请自行预处理、干燥;

7、样品应具有导电性。若样品不导电，需要进行镀金处理。