测试服务：AFM测试

品牌：布鲁克  型号：Dimension Edge

原理：原子力显微镜(AFM)通过检测待测样品表面和探针之间的相互作用力来表征样品的表面结构及性质，它可以对样品的表面形貌起伏、结构变化进行表征，获得样品表面的形貌、粗糙度和结构尺寸等信息。同时轻敲模式下可以得到相图，表征样品的组分、硬度、粘弹性质，模量等因素引起相位角变化。

送样须知:

块体、晶圆、薄膜等待测样品尺寸：

5mm-210mm(可裁剪、破片的样品尺寸可超过

210mm)，高度：小于15mm。测试面需保持清洁无污染，不稳定的样品需抽真空后寄样防止样品变质特殊样品可寄样前沟通确认。